一提到光(guāng)刻機,就有人(rén)潑冷(lěng)水(shuǐ)。說多(duō)麽多(duō)麽的(de)難造,說10萬個(gè)零部件彙集了(le)多(duō)個(gè)國家的(de)尖端科技等等。其實既然光(guāng)刻機是人(rén)造的(de)不是神造的(de),我們有什(shén)麽造不出來(lái)的(de)?更何況是已經被驗證了(le)的(de)成熟工藝,隻要加大(dà)人(rén)力物(wù)力的(de)投入,突破也(yě)不是什(shén)麽難題。
所以也(yě)不用(yòng)把EUV光(guāng)刻機看得(de)高(gāo)不可(kě)攀。曆史上的(de)無數經驗已經證明(míng),隻要中國人(rén)想,就沒有辦不成的(de)事情。那些把EUV光(guāng)刻機“神化(huà)”的(de),即使我們真造出EUV光(guāng)刻機了(le),骨子裏仍然是站不起來(lái)的(de)。
而現在我們也(yě)不是造不出光(guāng)刻機,隻是造不出最先進的(de)EUV光(guāng)刻機罷了(le)。我們開始重視芯片,重視光(guāng)刻機,也(yě)就是這(zhè)兩年的(de)事兒(ér),時(shí)間還(hái)是太短。之前都是相信造不如買,直到芯片卡我們的(de)脖子,才知道了(le)光(guāng)刻機的(de)重要性。而之前中國制造光(guāng)刻機的(de)企業,最厲害的(de)要屬上海微電子,能生産90nm的(de)光(guāng)刻機。這(zhè)家企業也(yě)僅僅是一家成立于2002年,注冊資本隻有3000多(duō)萬,員(yuán)工500多(duō)人(rén)的(de)企業。建廠20年來(lái)的(de)投入不會超過30億。就這(zhè)麽點人(rén),這(zhè)麽點錢,照(zhào)樣造出了(le)90nm的(de)光(guāng)刻機。所以如果我們加大(dà)投入,整個(gè)産業鏈一起努力,誰說造不出EUV光(guāng)刻機?